【來源：】 2015.02.02
常見的低溫等離子體產生方式有以下幾大類：
（1）輝光放電：低壓氣體中顯示輝光的氣體放電現象，即是稀薄氣體中的自持放電（自激導電）現象。其特點如下：
①低氣壓下進行，需要真空條件；
②難以連續生產，生產效率低；
③能耗大、成本高。
（2）電暈放電：在曲率半徑很小的尖端電極附近，由于局部電場強度超過氣體的電離場強，使氣體發生電離和激發。其特點如下：
①等離子體活性空間小，僅限于電暈極附近；
②在略高的外加電壓下極易擊穿形成火花放電。
（3）介質阻擋放電：有絕緣介質插入放電空間的一種非平衡態氣體放電。其特點如下：
①產生的等離子體密度大；
②電介質在放電過程中起到儲能作用，使放電穩定；
③能抑制火花放電的產生；
④保護高壓電極不受氣體的腐蝕。
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