【來源：】 2015.02.05
常見的低溫等離子體產生方式有以下幾大類：
1）電子束照射法：利用電子槍產生的高能電子束使氣體電離，形成低溫等離子體。
特點：
（1）產生的射線對人體健康有危害；
（2）產生的臭氧對裝置有腐蝕作用；
（3）能耗較大；
（4）設備結構復雜，電子槍價格昂貴，電子槍及靶窗的壽命短。
2）電暈放電：在曲率半徑很小的尖端電極附近，由于局部電場強度超過氣體的電離場強，使氣體發生電離和激發。
特點：
（1）等離子體活性空間小，僅限于電暈極附近；
（2）在略高的外加電壓下極易擊穿形成火花放電。
3）介質阻擋放電
特點：
（1）產生的等離子體密度大；
（2）電介質在放電過程中起到儲能作用，使放電穩定；
（3）能抑制火花放電的產生；
（4）保護高壓電極不受氣體的腐蝕。
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