【來源：】 2015.01.28
低溫等離子體是氣體在當外條件（微觀粒子撞擊、電場）作用下，氣體發生電離，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子（離子、原子、分子）溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體技術是通過產生高能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后引發了進一步的化學反應，使復雜污染物轉變為簡單小分子物質，使有毒有害物質轉變為無毒無害或低毒低害物質（如二氧化碳和水），從而使污染物得以降解去除。其降解過程如下：
低溫等離子體治理有機污染物的原理示意圖
過程一：高能電子直接轟擊
過程二：產生氧原子、臭氧、羥基自由基及小分子碎片
O2+2e→2O·
O2+O·→O3 +e
H2O+2e→H·+HO·
H2O+O·+e→2HO·
H·+O2→HO·+O
C(a+b)H(m+n)O(x+y) +2e→CaHmOx·+CbHnOy·
過程三：分子碎片氧化
CaHmOx+HO·→CO2 + H2O
CaHmOx+O·→CO2 + H2O
CaHmOx+O2→CO2 + H2O
CaHmOx+O3→CO2 + H2O
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