【來源：】 2015.01.28
等離子體概念最早由科學家Langmuir在1920年提出，是由電子、陽離子、陰離子和中性粒子組成的整體上呈電中性的物質集合。宇宙中90％物質處于等離子體態(tài)，其又被稱為“超氣態(tài)”和"電漿體"。由于它的諸多特性與固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)都截然不同，所以被稱為物質第四態(tài)，可作以下分類：
1）從來源上，可分為人工等離子體和自然界的天然等離子體兩類；
2） 從物態(tài)上，可分為氣體等離子體、液體等離子體和固體等離子體三類（狹義的等離子體是指氣態(tài)等離子體）；
3）從溫度上，可分為高溫等離子體和低溫等離子體兩類。
狹義的等離子體就是被激發(fā)電離氣體，其達到一定的電離度，氣體處于導電狀態(tài)。這種狀態(tài)的電離氣體就表現(xiàn)出集體行為，即電離氣體中每一帶電粒子的運動都會影響到其周圍帶電粒子，同時也受到其他帶電粒子的約束。
等離子體中電子質量小，熱運動比較劇烈，在不平衡的狀態(tài)下，其熱運動可以比陽離子和中性粒子劇烈很多，體現(xiàn)為電子溫度遠高于陽離子和中性粒子的溫度。高溫等離子體中的粒子溫度高達上千萬乃至上億度，這是為了使粒子有足夠的能量相碰撞，達到核聚變反應。低溫等離子體中的電子溫度也達上千乃至數(shù)萬度，可使分子、原子離解、電離、化合等。高溫等離子體主要應用于能源領域的可控核聚變，低溫等離子體（非平衡等離子體）則應用于科學技術和工業(yè)的許多領域。
等離子體化學活性很高，能夠在溫和的條件下使很多活化能較高的反應順利進行。最重要的反應是含鹵素的等離子體對于硅的刻蝕，這是制備各種微電子器件的關鍵步驟。等離子體還廣泛應用于各種薄膜的沉積，包括硅、金剛石、各種氮化物、碳化物以及金屬。在污染物降解、殺菌、合成氣重整、聚合反應等領域等離子體化學都有獨特的優(yōu)勢。
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